1.世界集成電路的發展歷史
1947年:貝爾實驗室肖特萊等人發明了晶體管,這是微電子技術發展中第壹個裏程碑;
1950年:結型晶體管誕生;
1950年: r ohl和肖特萊發明了離子註入工藝;
1951年:場效應晶體管發明;
1956年:c s fuller發明了擴散工藝;
1958年:仙童公司robert noyce與德儀公司基爾比間隔數月分別發明了集成電路,開創了世界微電子學的歷史;
1960年:h h loor和e castellani發明了光刻工藝;
1962年:美國rca公司研制出mos場效應晶體管;
1963年:f.m.wanlass和c.t.sah首次提出cmos技術,今天,95]以上的集成電路芯片都是基於cmos工藝;
1964年:intel摩爾提出摩爾定律,預測晶體管集成度將會每18個月增加1倍;
1966年:美國rca公司研制出cmos集成電路,並研制出第壹塊門陣列(50門);
1967年:應用材料公司(applied materials)成立,現已成為全球最大的半導體設備制造公司;
1971年:intel推出1kb動態隨機存儲器(dram),標誌著大規模集成電路出現;
1971年:全球第壹個微處理器4004由intel公司推出,采用的是mos工藝,這是壹個裏程碑式的發明;
1974年:rca公司推出第壹個cmos微處理器1802;
1976年:16kb dram和4kb sram問世;
1978年:64kb動態隨機存儲器誕生,不足0.5平方厘米的矽片上集成了14萬個晶體管,標誌著超大規模集成電路(vlsi)時代的來臨;
1979年:intel推出5mhz 8088微處理器,之後,ibm基於8088推出全球第壹臺pc;
1981年:256kb dram和64kb cmos sram問世;
1984年:日本宣布推出1mb dram和256kb sram;
1985年:80386微處理器問世,20mhz;
1988年:16m dram問世,1平方厘米大小的矽片上集成有3500萬個晶體管,標誌著進入超大規模集成電路(vlsi)階段;
1989年:1mb dram進入市場;
1989年:486微處理器推出,25mhz,1μm工藝,後來50mhz芯片采用 0.8μm工藝;
1992年:64m位隨機存儲器問世;
1993年:66mhz奔騰處理器推出,采用0.6μm工藝;
1995年:pentium pro, 133mhz,采用0.6-0.35μm工藝;
1997年:300mhz奔騰Ⅱ問世,采用0.25μm工藝;
1999年:奔騰Ⅲ問世,450mhz,采用0.25μm工藝,後采用0.18μm工藝;
2000年: 1gb ram投放市場;
2000年:奔騰4問世,1.5ghz,采用0.18μm工藝;
2001年:intel宣布2001年下半年采用0.13μm工藝。
2003年:奔騰4 e系列推出,采用90nm工藝。
2005年:intel 酷睿2系列上市,采用65nm工藝。
2007年:基於全新45納米high-k工藝的intel酷睿2 e7/e8/e9上市。
2009年:intel酷睿i系列全新推出,創紀錄采用了領先的32納米工藝,並且下壹代22納米工藝正在研發。
2.我國集成電路的發展歷史
我國集成電路產業誕生於六十年代,共經歷了三個發展階段:
1965年-1978年:以計算機和軍工配套為目標,以開發邏輯電路為主要產 品,初步建立集成電路工業基礎及相關設備、儀器、材料的配套條件;
1978年-1990年:主要引進美國二手設備,改善集成電路裝備水平,在“治散治亂”的同時,以消費類整機作為配套重點,較好地解決了彩電集成電路的國產化;
1990年-2000年:以908工程、909工程為重點,以cad為突破口,抓好科技攻關和北方科研開發基地的建設,為信息產業服務,集成電路行業取得了新的發展。